
HEXAPODE MINIATURE DE POSITIONNEMENT DE HAUTE PRÉCISION
Avec 68 mm de hauteur, NanoPos est notre système de positionnement à structure parallèle le plus compact.
L’hexapode NanoPos permet de positionner une charge pesant jusqu’à 500 g selon les six degrés de liberté avec une résolution de 10 nm.
NanoPos possède des caractéristiques exceptionnelles grâce à sa conception mécanique ainsi qu’à l’intégration de tables piézoélectriques extrêmement compactes et d’articulations de très haute qualité.
ÉTENDUE
± 5 mm / ± 10 °
RÉSOLUTION
10 nm
RÉPÉTABILITÉ
± 38 nm
CHARGE
500g
Motion and positioning
Travel range Tx, Ty (mm) | ± 5 |
Travel range Tz (mm) | ± 4 |
Travel range Rx, Ry (deg) | ± 7 |
Travel range Rz (deg) | ± 10 |
Resolution Tx, Ty, Tz (µm) | 10 |
Resolution Rx, Ry, Rz (µrad) | 1 |
Repeatability Tx, Ty, Tz (µm) | ± 38 |
Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad) | ± 1 |
Speed (mm/s; deg/s) | 1; 1 |
Mechanical properties
Payload capacity (g) (vertical orientation) | 500 |
Motor type | Piezo motor |
Miscellaneous
Operating temperature range (°C) | + 5 to + 40 |
Materials | Aluminum, invar, ceramic, stainless steel |
Mobile platform size (mm) | Ø 72 |
Mobile platform central aperture (mm) | Ø 32 |
Fixed platform size (mm) | Ø 120 |
Fixed platform central aperture (mm) | Ø 32 |
Height in middle position (mm) | 68 |
Footprint (mm) | Ø 120 |
Mass (g) | 505 |
Cable length (m) | 1.2 |
Options | Customized platform design Larger travel range Scalable size Vacuum compatibility Non magnetic |
Controller
Controller type | CAPELLA |
Interface | Ethernet, USB, Serial (RS-232) |
Power supply | 110-240 VAC / 50-60 Hz |
Plateforme personnalisable
Course étendue
Taille modulable
Compatible vide
Non magnétique