NanoPos

HEXAPODE MINIATURE DE POSITIONNEMENT DE HAUTE PRÉCISION

Avec 68 mm de hauteur, NanoPos est notre système de positionnement à structure parallèle le plus compact.
L’hexapode NanoPos permet de positionner une charge pesant jusqu’à 500 g selon les six degrés de liberté avec une résolution de 10 nm.

NanoPos possède des caractéristiques exceptionnelles grâce à sa conception mécanique ainsi qu’à l’intégration de tables piézoélectriques extrêmement compactes et d’articulations de très haute qualité.

ÉTENDUE

± 5 mm / ± 10 °

RÉSOLUTION

10 nm

RÉPÉTABILITÉ

± 38 nm

CHARGE

500g

Motion and positioning

Travel range Tx, Ty (mm)± 5
Travel range Tz (mm)± 4
Travel range Rx, Ry (deg)± 7
Travel range Rz (deg)± 10
Resolution Tx, Ty, Tz (µm)10
Resolution Rx, Ry, Rz (µrad)1
Repeatability Tx, Ty, Tz (µm)± 38
Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad)± 1
Speed (mm/s; deg/s)1; 1

Mechanical properties

Payload capacity (g) (vertical orientation)500
Motor typePiezo motor

Miscellaneous

Operating temperature range (°C)+ 5 to + 40
MaterialsAluminum, invar, ceramic, stainless steel
Mobile platform size (mm)Ø 72
Mobile platform central aperture (mm)Ø 32
Fixed platform size (mm)Ø 120
Fixed platform central aperture (mm)Ø 32
Height in middle position (mm)68
Footprint (mm) Ø 120
Mass (g)505
Cable length (m)1.2
Options

Customized platform design

Larger travel range

Scalable size

Vacuum compatibility

Non magnetic

Controller

Controller typeCAPELLA
InterfaceEthernet, USB, Serial (RS-232)
Power supply110-240 VAC / 50-60 Hz
Plateforme personnalisable
Course étendue
Taille modulable
Compatible vide
Non magnétique
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Fiche produit (PDF)

STEP 3D (ZIP)

Aperçu 3D (PDF)