HEXAPODE MINIATURE DE POSITIONNEMENT DE HAUTE PRÉCISION
Avec 68 mm de hauteur, NanoPos est notre système de positionnement à structure parallèle le plus compact.
L’hexapode NanoPos permet de positionner une charge pesant jusqu’à 500 g selon les six degrés de liberté avec une résolution de 10 nm.
NanoPos possède des caractéristiques exceptionnelles grâce à sa conception mécanique ainsi qu’à l’intégration de tables piézoélectriques extrêmement compactes et d’articulations de très haute qualité.
ÉTENDUE
± 5 mm / ± 10 °
RÉSOLUTION
10 nm
RÉPÉTABILITÉ
± 38 nm
CHARGE
500g
Motion and positioning
| Travel range Tx, Ty (mm) | ± 5 |
| Travel range Tz (mm) | ± 4 |
| Travel range Rx, Ry (deg) | ± 7 |
| Travel range Rz (deg) | ± 10 |
| Resolution Tx, Ty, Tz (µm) | 10 |
| Resolution Rx, Ry, Rz (µrad) | 1 |
| Repeatability Tx, Ty, Tz (µm) | ± 38 |
| Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad) | ± 1 |
| Speed (mm/s; deg/s) | 1; 1 |
Mechanical properties
| Payload capacity (g) (vertical orientation) | 500 |
| Motor type | Piezo motor |
Miscellaneous
| Operating temperature range (°C) | + 5 to + 40 |
| Materials | Aluminum, invar, ceramic, stainless steel |
| Mobile platform size (mm) | Ø 72 |
| Mobile platform central aperture (mm) | Ø 32 |
| Fixed platform size (mm) | Ø 120 |
| Fixed platform central aperture (mm) | Ø 32 |
| Height in middle position (mm) | 68 |
| Footprint (mm) | Ø 120 |
| Mass (g) | 505 |
| Cable length (m) | 1.2 |
| Options | Customized platform design Larger travel range Scalable size Vacuum compatibility Non magnetic |
Controller
| Controller type | CAPELLA |
| Interface | Ethernet, USB, Serial (RS-232) |
| Power supply | 110-240 VAC / 50-60 Hz |
Plateforme personnalisable
Course étendue
Taille modulable
Compatible vide
Non magnétique
Fiche produit (PDF)
STEP 3D (ZIP)
Aperçu 3D (PDF)
