CONTEXTE DU PROJET
La ligne de lumière SIRIUS du synchrotron SOLEIL est spécialisée dans l’étude des nanostructures de semi-conducteurs et des oxydes fonctionnels en utilisant des techniques de diffraction des rayons X tendres et de spectroscopie dans les conditions d’incidence conventionnelles et rasantes (GIXRD, GI-XAFS, Reflexafs, DAFS, etc.).
Pour offrir de nouvelles capacités expérimentales, la ligne SIRIUS s’est équipée d’un diffractomètre sous vide avec l’aide du Conseil Suédois de la Recherche (collaboration Vetenskapsrådet MAX IV – SOLEIL) et de la région Ile de France (projet « FORTE », DIM-Oxymore).
DEMANDE DU CLIENT
Symétrie a fourni un diffractomètre sous vide intégrant un hexapode de positionnement d’échantillon BORA compatible vide et 4 cercles Huber compatibles vide, la chambre à vide étant positionnée par un hexapode JORAN de plus grande taille qui sert à faire le pré-alignement.
SPÉCIFICITÉS DU PROJET
■ Vide secondaire (10-6 mbar) pour l’hexapode BORA et les 4 cercles
■ Accessibilité de l’échantillon alors que les 4 cercles ont de grandes étendues angulaires
■ Collecteur tournant compatible vide pour l’hexapode BORA afin de faciliter la gestion des câbles
■ Résolution de l’hexapode BORA : 0,1 µm, 2 µrad
■ Contrôle commande sous TANGO développé en collaboration avec le synchrotron SOLEIL